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潔凈室靜電測試
潔凈室內(nèi)往往存在著不容忽視的靜電危害，是導致電子器件、電子儀器和設備損壞或性能下降的重要因素之一，對芯片制造影響尤為重要。此外，靜電還是潔凈室在生產(chǎn)過程中有易燃易爆氣體或粉塵產(chǎn)生時，導致爆炸、火災的元兇以及存在電擊傷人的隱患。潔凈室靜電對塵埃的吸附效應，也易造成生產(chǎn)環(huán)境和產(chǎn)品各個壁面的塵埃聚集，以致影響潔凈室的環(huán)境和產(chǎn)品被污染。1、相關的規(guī)范規(guī)定潔凈室相關規(guī)范對靜電防護問題，從設計到運行都有具體的規(guī)定。例如，潔凈室設施應選用既不會產(chǎn)生也不能蓄積大量靜電的建筑材料。為保護對靜電...
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2020-08-27
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潔凈室的噪聲、微振與照度的測試
由于潔凈室對排除室內(nèi)污染物的要求高，因此比一般空調(diào)房間的通風換氣量要大很多。1～5級高級別潔凈室的通風換氣次數(shù)甚至高達幾百次之多，是普通舒適性空調(diào)房間換氣次數(shù)的幾十倍。正因為需要巨大的通風換氣量，從節(jié)省驅(qū)動能耗及減少輸送氣流的沿程熱損耗的角度出發(fā)，就要盡可能拉近機房與潔凈室的距離。這也正是廣泛采用裝置在潔凈室內(nèi)的風機過濾器機組的原因之一。由于機械設備運轉(zhuǎn)造成的機械振動與噪聲、空調(diào)凈化系統(tǒng)較高的靜壓值及系統(tǒng)中氣流引起的噪聲與微振等，都比一般空調(diào)系統(tǒng)更為突出，因此潔凈室的噪聲與微...
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2020-08-26
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潔凈室粒子沉積測試
粒子沉積測試在國外某些高級別潔凈室頗受重視。因為通過此項測試，可以讓用戶了解可能沉積到潔凈室工作表面或產(chǎn)品上的空氣中懸浮粒子的數(shù)量與粒子粒徑，這對于分析產(chǎn)品的成品率有較高的參考價值。其檢測的方式是用表面特性與生產(chǎn)中所關注的表面相類似的測量采樣板，在潔凈室內(nèi)收集沉積粒子。再用光學顯微鏡、電子顯微鏡或表面掃描儀確定沉積粒子的粒徑與數(shù)量；也可以用粒子沉降光度計獲得粒子沉積率的數(shù)據(jù)。后以每單位表面面積在單位時間內(nèi)的粒子質(zhì)量或數(shù)目來表示沉積粒子的數(shù)據(jù)。1、測量采樣板上沉積粒子的獲取方法...
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2020-08-26
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潔凈室污染滲漏測試
ISO14644明確規(guī)定此項測試，并指出特別是對于1～5級高級別潔凈室應有效的進行此項測試。此項測試的目的是用以測定有無受污染的空氣從周圍具有相同或不同靜壓的非受控區(qū)侵入到潔凈區(qū)，以評估潔凈室受周邊污染的風險，為采取相應措施提供依據(jù)。此項測試可采用離散粒子計數(shù)器或氣溶膠光度計。1、使用離散粒子計數(shù)器測試污染滲漏（1）測量緊靠被評估潔凈室外部的粒子濃度，該濃度應該比潔凈室高出104倍，并且其濃度至少等于3.5*106個待測粒徑的粒子。如果濃度小于該值，為確保測試的可靠性應使用氣...
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2020-08-24
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潔凈室自凈性能測試
自凈性能測試的目的是用以確定潔凈室或潔凈設施清除懸浮微粒的能力與速率，這是非單向流潔凈室或潔凈設施重要的性能反映。其自凈性能是受控區(qū)內(nèi)的空氣循環(huán)率，即常說的換氣次數(shù)、進風口及出風口的氣流流型、空氣分布特性以及熱環(huán)境的函數(shù)。在相同的空氣循環(huán)率和其它室內(nèi)條件下，如果自凈時間較短，說明潔凈室送、回風口布置得當，氣流組織效果好；反之，說明氣流組織不理想。1、自凈性能或自凈時間的定義ISO14644標準規(guī)定，以潔凈室或潔凈設施內(nèi)粒子濃度的變化率來評估自凈性能，或者用自凈時間，即潔凈室從...
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2020-08-24
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潔凈室溫度與濕度的測試
本項測試內(nèi)容的目的是驗證潔凈室或潔凈設施的空調(diào)系統(tǒng)在被測區(qū)域內(nèi)維持的空氣溫度、濕度指標是否在用戶與供應商、承包商事前商定的控制限度范圍內(nèi)。潔凈室或潔凈設施溫、濕度測定通常分為兩個檔次：一般測試和綜合測試。一般測試適用于處于空態(tài)的竣工驗收測試，綜合測試適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。1、一般溫、濕度測試此項測試應該在氣流均勻性測試完成，空調(diào)系統(tǒng)的控制裝置調(diào)節(jié)后進行。測試工作應該在空調(diào)系統(tǒng)穩(wěn)定運行的狀況下進行。根據(jù)ISO14644...
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2020-08-24
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